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寧波怡信_3D光學(xué)干涉輪廓儀_輪廓儀

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寧波怡信_3D光學(xué)干涉輪廓儀_輪廓儀 產(chǎn)品詳情

3D光學(xué)干涉輪廓儀

非接觸、快速靈活、功能多的一體化測量系統(tǒng)

3D光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測量(PSI)、白光垂直掃描干涉測量(VSI)和單色光垂直掃描干涉測量(CSI)等技術(shù)的基礎(chǔ)上,以其納米級測量準(zhǔn)確度和重復(fù)性(穩(wěn)定性)定量地反映出被測件的表面粗糙度、表面輪廓、臺階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術(shù)、材料、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域。

集成電路激光槽測量

MEMS結(jié)構(gòu)輪廓形貌、三維尺寸

太陽能電池柵線測量

集成電路晶圓背面減薄粗糙度


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