第1年
上海伯東 氦質譜檢漏儀 ASM 340
HVA 3位真空閘閥 真空插板閥 21700
上海伯東 渦輪分子泵 HiPace 80 Neo
上海伯東 氦質譜檢漏儀 ASM 390, AS
HVA 矩形閥 28200系列
上海伯東 渦輪分子泵 HiPace 300
HVA 高真空閘閥 高真空插板閥 11000
上海伯東 氫氦雙檢吸槍檢漏儀 ASM 3
HVA 真空隔離閘閥 16000 系列
上海伯東 渦輪分子泵 HiPace 1800
- 材質：
- 不銹鋼
因產品配置不同，價格貨期需要電議，圖片僅供參考，一切以實際成交合同為準。
HVA 長壽命嚴厲過程真空閘閥 71000 系列
上海伯東美國 HVA 長壽命嚴厲過程真空閘閥 71000 系列是專為最苛刻的真空環境而設計. HVA 真空閘閥 71000 系列由堅固的不繡鋼剛坯在 1100°C, 1x10-6 mbar 條件下加工成形, 真空閘閥兩側密封的門上雙密封設計, 閥門內部幾乎沒有移動部件, 最大限度減少粒子的生成. 免維護設計(不繡鋼波紋管與工藝過程分離). 適用于 MOCVD, ALD, PECVD 等典型的嚴酷的應用.
HVA 長壽命嚴厲過程真空閘閥 71000 系列特性:
易于系統集成, 幾乎滿足所有應用
不繡鋼波紋管與工藝過程分離 - 免維護
真空閘閥堅固的雙重密封設計和低粒子
使用壽命 > 250,000 cycles 啟閉次數
高壓和機械加工的不銹鋼閥體
真空閘閥口徑 DN 50-200 mm
手動或氣動控制
標準法蘭口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客戶定制
真空閘閥最大烘烤溫度 250°C
全部美國設計, 制造, 組裝, 原裝進口
HVA 長壽命嚴厲過程真空閘閥 71000 系列參數:
閥門材質: | |
- 閥門主體 | 304 不銹鋼 |
- 焊接波紋管軸封 | AM - 350 |
閥門密封方式 | |
- 高真空 | 氟橡膠 |
真空: | |
- 壓力范圍 | 高真空 1x10-9 mbar |
- 漏率 | < 2x10-9 mbar l/S |
- 差壓關閉 | 2 bar (任意位置) |
- 開啟前最大壓力 | ≤ 1 bar |
烘烤溫度（不含電磁閥）: | |
- 佛橡膠密封 | 150 °c, 可選配置最大 250 °c |
- 驅動方式 | 手動 60 °c, 氣動 60 °c |
- 氣體 | 80 psig (5.5 bar) |
- 電磁 | 4.0 Watts |
- 供電 | 120 VAC 50 /60 Hz |
- 可選電壓 | 24, 200, 240 VAC 50/60 Hz |
- 位置指示器,最大 | 115 VAC |
使用壽命: > 250,000 啟閉次數 (具體視實際使用情況決定) | |
公稱通徑: DN 50 - 200 mm | |
HVA 長壽命嚴厲過程真空閘閥 71000 系列部件圖:
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