質(zhì)量流量控制器用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。其采用主體不銹鋼(316L) 結(jié)構(gòu)，與氣體接觸部分采用鐵素體高耐腐蝕軟磁不銹鋼、.聚四氟乙烯等；適用于多種腐蝕性氣體；氣體流量不因溫度、壓力的變化而失準(zhǔn)；響應(yīng)速度快、軟啟動(dòng)、應(yīng)用穩(wěn)定；工作壓力范圍寬(可以在高壓或真空條件下工作)；操作使用方便，可任意位置安裝；便于與計(jì)算機(jī)連接實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。
質(zhì)量流量控制器主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造行業(yè)的氣體流量控制；分析儀器設(shè)備的氣體計(jì)量與控制；多種形式的真空鍍膜設(shè)備；環(huán)境檢測(cè)與分析設(shè)備；化工、石化、食品行業(yè)氣體流量監(jiān)測(cè)和控制；特種材料表面處理裝置與燃燒控制；混氣配氣系統(tǒng)和泄漏探測(cè)系統(tǒng)等
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