公司發展至今已有三個事業部：成套半導體裝備事業部、零部件事業部、氣體及工程事業部。成套半導體裝備事業部和零部件事業部目前主要對微電子所微電子設備技術研究室研發成熟的產品進行銷售和產品服務。微電子設備技術研究室是專業從事微電子裝備技術研發的部門，擁有近30年的技術積累。研究室長期承擔國家科技重大專項等科研項目,進行創新設備技術探索。

成套半導體裝備事業部于1986年成功研發國內首臺多功能磁增強反應離子刻蝕機，為“七五”國家重點科技攻關項目重要科研成果。1993年，ME-3A型多功能磁增強反應離子刻蝕機獲中科院科學技術進步二等獎。1997年，在“八五”國家重點科技攻關項目的支持下，研制成功國內首臺ICP刻蝕機，并于1998年，實現ICP-98A刻蝕機的首臺銷售。經過近三十年的發展，已成功研發多種型號的刻蝕機、濺射臺和PECVD機。