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深圳MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展白皮書

微機(jī)電系統(tǒng)（Micro Electro-Mechanical System，簡(jiǎn)稱MEMS），是在微電子技術(shù)（半導(dǎo)體制造技術(shù)）基礎(chǔ)上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的電子機(jī)械器件。MEMS具有微型化、智能化、高集成度和適于大批量生產(chǎn)、…